مسحوق تلميع الألومينا المكلس للصفائح لطحن وتلميع الرقائق
مسحوق تلميع الألومينا المكلس على شكل صفائح هو مادة كاشطة عالية الدقة، مصممة خصيصًا لعمليات طحن رقائق أشباه الموصلات وتلميعها بتقنية التلميع الكيميائي الميكانيكي (CMP). يختلف هذا المنتج عن مواد الألومينا الكاشطة التقليدية ذات الحواف الحادة، إذ يتميز ببنية مجهرية فريدة ناعمة على شكل صفائح، مما يجعله مناسبًا للغاية للمعالجة فائقة الدقة للركائز الهشة وعالية الدقة، مثل رقائق زرنيخيد الغاليوم (GaAs) ورقائق السيليكون ورقائق الياقوت. وقد أصبح هذا المسحوق مادة أساسية لتحسين جودة سطح الرقائق وزيادة إنتاجية صناعة أشباه الموصلات.
مسحوق تلميع الألومينا المكلسة على شكل صفائح مصنوع من مسحوق ألومينا صناعي عالي الجودة كمادة خام، ويتم معالجته بعملية إنتاج خاصة. يتميز مسحوق تلميع الألومينا الناتج بشكل بلوري سداسي مسطح يشبه الصفائح، ولذلك يُطلق عليه اسم الألومينا الصفائحية أو الألومينا الصفائحية.
تتجاوز نقاوة الألومينا في ألواح الألومينا 99%، وتتميز بمقاومتها للحرارة والتآكل الحمضي والقلوي، فضلاً عن صلابتها العالية. وعلى عكس جزيئات الألومينا الكروية الكاشطة التقليدية، يتميز سطح ألواح الألومينا المسطحة بسطحه السفلي المستوي، مما يسمح لها بالتكيف مع سطح قطعة العمل أثناء عملية التجليخ، وبالتالي تحقيق تأثير تجليخ انزلاقي يمنع خدش سطح قطعة العمل بفعل الحواف الحادة للجزيئات. من جهة أخرى، يتوزع ضغط التجليخ بالتساوي على سطح ألواح الألومينا أثناء التجليخ، مما يقلل من تكسر الجزيئات ويحسن مقاومتها للتآكل، وبالتالي يرفع من كفاءة التجليخ وجودة سطح المنتج النهائي.
بالنسبة لمواد أشباه الموصلات، مثل رقائق السيليكون، يُمكن لتطبيق أكسيد الألومنيوم المُصفّح أن يُقلل من وقت الطحن، ويُحسّن كفاءته بشكل كبير، ويُقلل من خسائر آلة الطحن، ويُوفّر تكاليف العمالة والطحن، ويزيد من نسبة نجاح الطحن. وتُقارب جودته جودة العلامات التجارية العالمية المعروفة.
تزداد كفاءة العمل في عملية طحن المصباح الزجاجي لأنبوب الصورة بمقدار 3-5 مرات؛
ترتفع نسبة المنتجات المؤهلة بنسبة 10-15%، وتصل نسبة المنتجات المؤهلة لرقائق أشباه الموصلات إلى أكثر من 99%؛
يقل استهلاك الطحن بنسبة 40-40% عن مسحوق تلميع الألومينا العادي؛
التركيب الكيميائي
| المواد الكيميائية | قيمة الضمان | القيمة النموذجية |
| Al2O3 | ≥99.0% | 99.36% |
| SiO2 | أقل من 0.2% | 0.017% |
| Fe2O3 | أقل من 0.1% | 0.03% |
| Na2O | أقل من 0.6% | 0.35% |
الخصائص الفيزيائية
| مادة | α-Al2O3 |
| لون | أبيض |
| الكثافة النوعية | ≥3.9 جم/سم3 |
| صلابة موس | 9.0 |
الأحجام المتوفرة
| يكتب | D3(um) | D50 (واحد) | D94 (ميكرومتر) |
| HXTA45 | 50.5-56.2 | 33-38.5 | 20.7-24.5 |
| HXTA40 | 39-44.6 | 27.7-31.7 | 18-20 |
| HXTA35 | 35.4-39.8 | 23.8-27.2 | 15-17 |
| HXTA30 | 28.1-32.3 | 19.2-22.3 | 13.4-15.6 |
| HXTA25 | 24.4-28.2 | 16.1-18.7 | 9.6-11.2 |
| HXTA20 | 20.9-24.1 | 13.1-15.3 | 8.2-9.8 |
| HXTA15 | 14.8-17.2 | 9.4-11 | 5.8-6.8 |
| HXTA12 | 11.8-13.8 | 7.6-8.8 | 4.5-5.3 |
| HXTA09 | 8.9-10.5 | 5.9-6.9 | 3.3-3.9 |
| HXTA05 | 6.6-7.8 | 4.3-5.1 | 2.55-3.05 |
| HXTA03 | 4.8-5.6 | 2.8-3.4 | 1.5-2.1 |
تطبيقات المنتج
1) صناعة الإلكترونيات: طحن وتلميع رقائق السيليكون أحادية البلورة لأشباه الموصلات، وبلورات الكوارتز، وأشباه الموصلات المركبة (الغاليوم البلوري، والفوسفات النانوي).
2) صناعة الزجاج: طحن ومعالجة الكريستال، وزجاج الكوارتز، وشاشة غلاف زجاجي للشاشات، والزجاج البصري، وركيزة زجاج شاشة الكريستال السائل (LCD)، وكريستال الكوارتز.
3) صناعة الطلاء: الطلاءات الخاصة والحشوات المستخدمة في رش البلازما.
4) صناعة معالجة المعادن والسيراميك: مواد السيراميك الدقيقة، والمواد الخام السيراميكية المتلبدة، والطلاءات عالية الجودة ذات درجات الحرارة العالية، إلخ.
